[求助] [已解决]衍射光栅理论计算衍射角与zemax模拟衍射角不同

本帖最后由 liumu 于 2022-9-29 10:00 编辑

我仿真了两个zemax实例，波长均设为三个，190、320、450nm；光栅衍射角也均设为20度；光栅线数一个实例为0.6刻线/um，另一实例为2.4刻线/um。图一为入射角20度，波长190、320、450，理论计算求出衍射角的过程；图二为实例为2.4刻线/um的zemax仿真结果；图三为实例为0.6刻线/um的zemax仿真结果。
在图二中中心波长320衍射角理论应为25.21度，但在图二 三维布局图中衍射角与理论计算不同，且并未分光。图三中心波长320衍射角理论应为-8.63度，但在图三 三维布局图中衍射角为33度左右（33度来源于将三维布局图截图，用其他软件测量图中角度，并不精确，但相差不远），也与理论不同。这是什么原因？附件为实例0.6刻线/um。