显微成像

分别用绿光和蓝光作为照明光，经过DMD显微投影系统成像后发现，在20x物镜情况下，蓝光和绿光成像面不共焦，之间相差1um。

整个系统是自己在实验室搭建的投影光刻系统，物镜使用的是三丰M PLAN APO 20x，管镜是波相雷竞技下载找ray666点vip的F200管镜。



想和大家讨论下，产生这种偏差的原因是？色差？还是其他原因？ 虽然物镜景深有1.6um，但是还是能看出清晰度的差别，所以想想办法改进一下