最近用zemax仿真检测光路,尝试用实际镜面测试,因此总结两种将干涉仪实际测量数据导入到zemax的方法
1. ZEMAX用户手册方法,将干涉仪导出的INT格式数据通过ZEMAX“文件”栏“转化文件格式”转换为.dat文件
2. 有的干涉仪导出的数据没有INT格式,只有dat,xyz,asc,zxg等文件格式,这时候ZEMAX转化不了,得先用ZYGO的MetroPro软件将数据导出为zxg(ZEMAX FILE)文件,具体步骤详见这篇神贴http://t.csdnimg.cn/47Z8j,然后将zxg文件另存为.dat文件,直接改后缀就行(注意这里干涉仪导出的dat文件和Zemax用的dat文件完全两种东西)
最后说明一下,dat文件如何最终导入zemax
将dat文件复制到文件夹C:\Users\admin\Documents\Zemax\Objects\Grid Files,在镜头数据编辑器中将面型选为“网格相位”,选择导入,之后可点击分析\表面\相位查看干涉仪导出测量面型