[我分享] 一款NA1.35的光刻镜头

TA的每日心情

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发表于 2024-3-17 15:19 | 显示全部楼层 |阅读模式

分享我复现的一款光刻镜头，这里给出codev和zemax的压缩包，镜头的设计很巧妙，放大率是0.25

同轴结构，离轴视场，使用了两个反射镜，结构很巧妙

可以达到9000线对

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maturer

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白云飞飞飞

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擦汗
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发表于 2024-3-17 15:35 | 显示全部楼层

看您这个中间有两处是反射镜，光线怎么就穿过去了呢

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daniellsun

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发表于 2024-3-17 20:54 | 显示全部楼层

这是DUV光刻镜头，最高支持14nm工艺？

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JXJ_CC

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发表于 2024-3-18 10:20 | 显示全部楼层

白云飞飞飞发表于 2024-3-17 15:35
看您这个中间有两处是反射镜，光线怎么就穿过去了呢

序列模式吧

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楼主| 发表于 2024-3-18 12:25 | 显示全部楼层

白云飞飞飞发表于 2024-3-17 15:35
看您这个中间有两处是反射镜，光线怎么就穿过去了呢

没有发生反射的地方挖孔镂空就可以了，只是没有设置孔径而已

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楼主| 发表于 2024-3-18 12:26 | 显示全部楼层

daniellsun 发表于 2024-3-17 20:54
这是DUV光刻镜头，最高支持14nm工艺？

193nm的波长，算了一下艾里斑90多nm，工艺上事的我不是很懂

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楼主| 发表于 2024-3-18 12:30 | 显示全部楼层

售价2金币只是为了用金币换3个积分，积分够了就不会再收金币了

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daniellsun

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发表于 2024-3-18 13:18 | 显示全部楼层

otsoul 发表于 2024-3-18 12:26
193nm的波长，算了一下艾里斑90多nm，工艺上事的我不是很懂

台积电14nm的最小栅格间距是70nm。极限分辨下系数k1可以按0.25算，正好半间距=0.25*193/1.35=35.7nm

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小谈人生

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开心
2024-11-1 08:50

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发表于 2024-3-18 13:58 | 显示全部楼层

SIO2V.ZTG，没有这个玻璃库

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songshaoman

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发表于 2024-3-18 15:30 | 显示全部楼层

后焦距物距有什么标准么？光源线宽多少？视场多大？参考的专利么？有没有实际需求？

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