用于对光刻机上掩膜版的mask码成像的显微系统

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[LV.8]以坛为家I

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发表于 2023-12-20 21:53 | 显示全部楼层 |阅读模式

本帖最后由宁必成于 2023-12-21 19:42 编辑

求助个显微系统的问题，就是这么一个物镜和目镜和一个灯加一个反射镜组成的显微系统，具体型号在图片里，我算的放大倍率是25，但是ChatGPT说是5，说这个型号的目镜组合这个型号的物镜就是放大倍率5，我不理解，麻烦各位大佬解惑

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发表于 2023-12-25 11:52 | 显示全部楼层

就是5倍，无限远校正物镜的实际放大倍率是管镜（tubelens）的焦距和物镜焦距的比值，尼康标准管镜的焦距为200mm，因此10X物镜的实际焦距为200/10=20mm；你使用了另一个焦距100mm的透镜作为管镜，此时的放大率就是100mm/20mm=5

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