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[交流讨论] 国产玻璃能不能达到光刻镜头要求的标准？

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songshaoman

TA的每日心情

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2024-11-6 09:15

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发表于 2023-11-16 17:19 | 显示全部楼层 |阅读模式

以成都光明玻璃为例，对于365nm光刻机，玻璃的洁净度，气泡度，透过率，等基本参数，够不够用在光刻镜头上？

02专项做的光刻镜头，用的哪的玻璃？

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金木研

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发表于 2023-11-16 18:54 | 显示全部楼层

成都光明足够了，注意内部透过率就行（不要用H-K9L），我们这就用的光明玻璃

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zoubois

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擦汗
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发表于 2023-11-17 08:44 | 显示全部楼层

成都光明有专用的紫外K9玻璃，牌号不是标准的H-K9L

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Ds12345679

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发表于 2023-11-17 09:16 | 显示全部楼层

本帖最后由 Ds12345679 于 2023-11-17 10:02 编辑

刚上网看到的：
“02 光刻机子项目
上微电子生产的光刻机并不是纯国产货，它的核心部分光源系统与镜头系统都是国外进口的，要建立完全的国产芯片产业链，要有自己的光源和镜头。所以02专项还建立了光刻机子项目，主要为光源、镜头、双工作台三个大系统项目”，可见不是光明的玻璃。
我们玻璃质量与肖特差距很大，肖特折射率给不到2*10^-6。雷竞技下载找ray666点vip均匀性、应力双折射，同一块玻璃的折射率差值与肖特比差距都很大。

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jnu-cgl

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发表于 2023-11-17 09:18 | 显示全部楼层

Ds12345679 发表于 2023-11-17 09:16
刚上网看到的：
02 光刻机子项目
上微电子生产的光刻机并不是纯国产货，它的核心部分光源系统与镜头系统 ...

这个2*10-6是折射率不均匀性吗？

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Ds12345679

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发表于 2023-11-17 09:29 | 显示全部楼层

本帖最后由 Ds12345679 于 2023-11-17 10:05 编辑

不是，这是1971年肖特玻璃目录里，折射率达到±1*10^-5,光明张志强高工告诉，他们没有0.2秒精密测角仪，给不到这一位,肖特测到2*10^-6。还有精密回火控制水平，也有差距。光明用A0~A5计算折射率的精度也到这一位。

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