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[交流] 显微镜照明方式交流

TA的每日心情

擦汗
2024-8-14 14:38

签到天数: 80 天

[LV.6]常住居民II

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发表于 2023-11-13 19:09 | 显示全部楼层 |阅读模式

我想请教一下各位业内人士现在一般工业界主流的显微镜照明方式有哪些？我网上搜了有好多，什么柯勒照明，暗场照明，落射照明这类的，不知道主流的是哪些？主要用于显微镜检测晶圆缺陷，一般um量级

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TA的每日心情

奋斗
2024-9-19 08:29

签到天数: 1534 天

[LV.Master]伴坛终老

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发表于 2023-11-13 19:16 | 显示全部楼层

不同的照明方式有不同的功能的，可以查阅相关资料。晶圆检测应该是用同轴落射照明，科勒照明/临界照明都可以。

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TA的每日心情

擦汗
2024-8-14 14:38

签到天数: 80 天

[LV.6]常住居民II

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楼主| 发表于 2023-11-13 20:08 | 显示全部楼层

wj425154973 发表于 2023-11-13 19:16
不同的照明方式有不同的功能的，可以查阅相关资料。晶圆检测应该是用同轴落射照明，科勒照明/临界照明都可 ...

好的谢谢，我再去调研一下

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TA的每日心情

慵懒
2024-8-28 07:30

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[LV.5]常住居民I

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发表于 2023-11-14 08:36 | 显示全部楼层

晶圆检测用同轴照明和倾斜照明，分别看不同类型的缺陷。

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