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干涉仪测曲率半径

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chenjiekang

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发表于 2023-11-1 18:52 | 显示全部楼层 |阅读模式

ZYGO干涉仪如何准确测试球面的曲率半径？

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frog_0123

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发表于 2023-11-2 08:29 | 显示全部楼层

测一个猫眼位置，测一个球心位置，软件里面有提示怎么操作。

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chenjiekang

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楼主| 发表于 2023-11-2 11:07 | 显示全部楼层

frog_0123 发表于 2023-11-2 08:29
测一个猫眼位置，测一个球心位置，软件里面有提示怎么操作。

测出来的不准，我觉得原因是猫眼位置找的不准，如何找出准确的猫眼位置？

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隔壁的薛定谔

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发表于 2023-11-2 16:53 | 显示全部楼层

所以zygo本质测的是待测表面与最接近球面之间的光程差？

实际上这个“最接近球面”是无法准确得知曲率半径的？

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Arnold

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发表于 2023-11-2 17:44 | 显示全部楼层

本帖最后由 Arnold 于 2023-11-2 17:46 编辑

检测原理类似如图，就是检测面形的，一般被检测球面到焦点的距离已知，检测时位置对了，检测所得的PV和RMS就是要检测的值，要测R用球径仪、样板、轮廓仪这些

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frog_0123

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发表于 2023-11-6 10:20 | 显示全部楼层

chenjiekang 发表于 2023-11-2 11:07
测出来的不准，我觉得原因是猫眼位置找的不准，如何找出准确的猫眼位置？

猫眼也是看干涉条纹

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optic-white

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发表于 2023-11-8 10:45 | 显示全部楼层

chenjiekang 发表于 2023-11-2 11:07
测出来的不准，我觉得原因是猫眼位置找的不准，如何找出准确的猫眼位置？

检测的时候可以查看像差，关掉离焦，尽量让像散、彗差比较小接近0。。。我记得是这样的

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chenjiekang

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楼主| 发表于 2023-11-8 14:44 | 显示全部楼层

optic-white 发表于 2023-11-8 10:45
检测的时候可以查看像差，关掉离焦，尽量让像散、彗差比较小接近0。。。我记得是这样的

好的，谢谢。我试试看

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