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[求助] [已解决]光刻镜头公差分析后对应的MTF需要达到多少（例如公差分析前100线对/mm时mtf为0.55）

世界应该有光

TA的每日心情

开心
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发表于 2023-8-30 09:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

如题，用在h线405nm的光刻镜头在公差分析后90%的概率mtf应该达到多少算合格？比如0.3、0.4还是0.5？

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mmgg998

2023-8-31 18:56

世界应该有光发表于 2023-8-31 14:36
就是说光刻投影镜头公差分析不看mtf，只要公差分析波像差在0.25λ以内或者更小就行？

嗯嗯。h线是不是0.25λ就不确定了。

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发表于 2023-8-31 09:04 | 显示全部楼层

光刻镜头用波像差评价

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楼主| 发表于 2023-8-31 09:57 | 显示全部楼层

mmgg998 发表于 2023-8-31 09:04
光刻镜头用波像差评价

波像差是一个考虑因素，但是分析系统具体能达到多少分辨率还是得看mtf吧。

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发表于 2023-8-31 13:57 | 显示全部楼层

世界应该有光发表于 2023-8-31 09:57
波像差是一个考虑因素，但是分析系统具体能达到多少分辨率还是得看mtf吧。

mtf都是达到衍射极限的，不会测mtf，都是干涉仪测波像差

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楼主| 发表于 2023-8-31 14:36 | 显示全部楼层

mmgg998 发表于 2023-8-31 13:57
mtf都是达到衍射极限的，不会测mtf，都是干涉仪测波像差

就是说光刻投影镜头公差分析不看mtf，只要公差分析波像差在0.25λ以内或者更小就行？

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发表于 2023-8-31 18:56 | 显示全部楼层本楼为最佳答案

这个最佳答案由 mmgg998 给出，感谢 mmgg998 的回答。

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世界应该有光发表于 2023-8-31 14:36
就是说光刻投影镜头公差分析不看mtf，只要公差分析波像差在0.25λ以内或者更小就行？

嗯嗯。h线是不是0.25λ就不确定了。

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