[求助] 求助：利用ZEMAX设计非球面反射镜的补偿镜

本帖最后由 Simon_archer 于 2023-2-28 11:44 编辑

为了测量非球面时达到零位检测条件，需要光线沿被测非球面的法向进入和反射（原路返回），利用ZEMAX设计补偿镜，大体的光路图如下图所示，期间有几个疑问尚未解决，请求各位大佬帮助。

本帖最后由 时光中的路人 于 2023-3-1 08:56 编辑

单次传播模型就是为了获得反射镜的法线像差，然后用优化的补偿器（产生这个相反的法线像差）去抵消，这样就能顺利会聚进入干涉仪。一般，单次传播模型，可以把反射非球面设置成透射型的，折射率为0，这样就直接获得了法线像差，然后优化补偿器。最后，建立双通模型，优化补偿器与镜子的间隔。设计cgh检测非球面 - 论坛新人区 - 吾爱光设 - Powered by Discuz! (optzmx.com)

本帖最后由 Arnold 于 2023-3-1 20:04 编辑

非球面一般用RMS 波前优化；
例子参考\Zemax\Samples\Sequential\Optical testing下Offner refracting compensator.zmx；常见的补偿方法用 offner补偿器或弯月透镜 ；CGH也是现在的方式之一，但是成本较高，还取决于加工工艺。
一般先根据非球面的R0、k、D等优化，非球面全口径覆盖同时RMS和PV满足设计要求，然后加工补偿器，检测时反算F#得到检测需要的镜头。当然有些系统对补偿器和整体比较高，稍微偏心可能像质就不行了。可以看   潘君骅著的《雷竞技下载找ray666点vip非球面的设计，加工与检验》

本帖最后由 Simon_archer 于 2023-3-1 20:04 编辑

非常感谢您的回复，现在对单光路模型这款理解的好多了。我们有个非球面的干涉测量需求，所以才开始学习ZEMAX设计补偿镜这块的内容，之前雷竞技下载找ray666点vip的基础知识储备也很少，可能有的问题比较低级，但目前我的水平确实是有点懵。我看了些论文和教程，包括您推荐的《抛物非球面零位干涉检测的补偿器设计》这篇，文章提到利用光路可逆搭建单光路补偿模型来设计补偿器，我自己做了一下，大概的补助如下：
1.建立光线逆向的单次传播模型，光从被测面的另一侧入射，设被测面为零折射率材料，保证出射光能从被测面的法向出射

2.以补偿镜的曲率半径、补偿镜厚度，被测面与补偿镜的距离，补偿镜与像面的距离为变量，点列图最小为目标进行优化，使得优化后的光线能会聚到一点，这个点就是实际光路中干涉仪发出的光的汇聚点

3.翻转整个模型，2中的汇聚点即为翻转后的物面，同时把被测面的材料改为MIRROR，建立起双光路的模型
通过以上3步设计了补偿镜的结构，后面可能还需要更多的优化等，自己根据论文还有一些帖子尝试了多次，不知道这个步骤是否正确，辛苦您帮我看一下有没有问题，哪里需要改进和注意，万分感谢。