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Soarsky 发表于 2023-2-7 13:09
想检测精度高点呢,就Zygo干涉仪
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rcpk58 发表于 2023-2-7 17:52
测试非球面面型可以用ZYGO白光拼接干涉仪,精度能做到0.2um
UA3P也可以,接触式高精度轮廓度测试,精度能 ...
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