[求助] [已解决] 目前3D测量的精度最低到多少

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发表于 2022-6-6 13:42 | 显示全部楼层 |阅读模式

现在市面上对物体的长宽采用3D测量的方式，最小能测试的物体能到um级别吗？假如我想检测um级别的物体的长宽，有什么好的方法吗

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Qazxcv00

2022-6-6 16:21

基恩士3D 轮廓测量仪VR-6000 系列，最低精度0.1um

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寒冬的咖啡

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发表于 2022-6-6 14:04 | 显示全部楼层

接触式测量

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楼主| 发表于 2022-6-6 15:00 | 显示全部楼层

寒冬的咖啡发表于 2022-6-6 14:04
接触式测量

能具体展开下吗？或者说能推荐几款市面上的产品吗，谢谢

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Qazxcv00

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基恩士3D 轮廓测量仪VR-6000 系列，最低精度0.1um

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宿命233

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发表于 2022-6-15 11:15 | 显示全部楼层

1.你的问题应该是想问能测量的最小尺寸吧，那个叫最高精度，国内我所知道的最高精度可以测量到几十μm，国外可以做到个位数微米。2.使用3D传感器测量，可以看下基恩士的官网

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pkleo

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发表于 2023-4-12 16:27 | 显示全部楼层

白光干涉3D轮廓测量，粗糙度测量重复精度可以到0.1nm，可应用于晶圆、超抛光反射镜等表面粗糙度测量。
话说粗糙度也算3D形貌吧。微观的。

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Mayuri

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发表于 2023-12-1 10:22 | 显示全部楼层

最高精度吧？最高精度，最小分辨率这个说法应该是对的

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doginrein

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发表于 2024-5-10 19:47 | 显示全部楼层

测长宽不是应该用2D方法来测吗？主要看你测量物体的大小，按照我们这边的经验，物体是芯片尺寸，用2D方法到um级别是没有问题的

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sgwyuio

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发表于 2024-5-13 23:33 | 显示全部楼层

非接触式测量中um级别的测试已经不能单靠传统的视觉镜头需要使用辅助激光线激光线的宽度可以在1~10um左右配合算法使得测量精度在1um甚至0.1um左右

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Eurekazzz

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发表于 2024-7-29 15:57 | 显示全部楼层

3D线激光传感器，国内也有做到μm个位数级别的

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