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[讨论交流] Zygo干涉仪原理思考总结

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  • TA的每日心情
    奋斗
    2022-12-1 14:23
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    小白

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    发表于 2022-1-7 00:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本帖最后由 optdes 于 2022-1-7 00:30 编辑

    Zygo干涉仪是雷竞技下载找ray666点vip元件加工后面型检测的必备工具,思考总结了透镜、反射镜、棱镜和平板的检测方法,由于未实际操作过,实测过程中可能会有调整,常用的干涉仪实物图如下,比较有加工经验的可以交流讨论一下。不好意思多粘了一张图,暂时没法删除。





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  • TA的每日心情
    无聊
    2022-10-10 21:59
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    [LV.6]常住居民II

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    发表于 2022-1-9 19:21 | 显示全部楼层
    这个原理图不是zygo的,干涉仪一般泰曼格林和菲索两种架构,zygo是菲索的,不是图上泰曼格林的。
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  • TA的每日心情
    奋斗
    2022-12-1 14:23
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     楼主| 发表于 2022-1-9 19:58 | 显示全部楼层
    zzz在路上 发表于 2022-1-9 19:21
    这个原理图不是zygo的,干涉仪一般泰曼格林和菲索两种架构,zygo是菲索的,不是图上泰曼格林的。

    非常感谢指正!
    已查阅资料,了解到zygo干涉仪是斐索干涉仪原理,具体光路模型如下,分别是测量平板和球面透镜的结构:

    泰曼格林干涉仪原理如下,我初始表述的标准透镜有误:

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  • TA的每日心情
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    发表于 2022-3-3 15:58 | 显示全部楼层
    大哥,这个系统你复现出来了没。我现在遇到个用分光棱镜的系统,后续不知道怎么添加了,想参考借鉴下
    ,您看可以吗
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  • TA的每日心情
    擦汗
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    发表于 2022-3-4 11:42 | 显示全部楼层
    匍匐前进 发表于 2022-3-3 15:58
    大哥,这个系统你复现出来了没。我现在遇到个用分光棱镜的系统,后续不知道怎么添加了,想参考借鉴下
    ,您 ...

    使用坐标断点指令?
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  • TA的每日心情
    无聊
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    [LV.9]以坛为家II

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    发表于 2022-3-4 16:00 | 显示全部楼层

    我用序列模式构建的分光棱镜,用多重结构构建需要添加反射面使得光线再次经过分光棱镜。我现在需要在这个反射面方向添加元件。但是元件添加一直出问题,好像它的下一个面位置已经确认为分光棱镜表面。





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  • TA的每日心情
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    小白

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    发表于 2024-8-3 11:22 | 显示全部楼层
    谢谢楼主,终于看到菲索干涉仪的了
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