[求助] [已解决]Rsoft模拟光栅，模拟单个周期和3个周期差异很大是什么原因

用Rsoft模拟浮雕光栅，理论上模拟单个周期和3个周期是一样的结果，但是模拟结果却不一样，是哪里的设置问题吗？文件和模拟结果均在附件，请大神帮忙解答一下

本帖最后由 张新彬 于 2020-11-26 13:47 编辑

除了精度有点差别之外，两个模拟是一样的呀！首先，以d为周期的话，1级满足，dsinθ=λ，
以3d为周期的话，1级公式为，3dsinθ=λ,

而3级的公式为3dsinθ=3λ，即对应周期为d的时候的1级效率。
您看，计算结果也是对应的呀！

还有，您的精度差别可以通过，增加RCWA的X和Z方向的网格以及增加谐波M次数实现，通常N*dX要小于1/6λ，M要大于2倍衍射级次数。

也就是说，模拟三个周期的时候，会把光栅看成此时周期不是d而是3d了对吧

3个单元d，周期P=3d。