A flexible angle compensation method for freeform surface testing based ontip/tilt mirror
基于摆镜的自由曲面灵活角度补偿方法
具有大非球面度的自由曲面通常很难检测。我们提出了一种新的基于摆镜(TTM)的干涉测量方法。通过TTM在多个维度上动态补偿入射光线方向,以控制局部表面轮廓陡峭位置处的光线入射角。因此,倾斜角取决于被测表面的局部梯度。当控制所有子区域上的入射角时,我们可以获得一系列较低密度的干涉图,基于这些干涉图可以确定表面轮廓。本文分析了该方法的补偿范围,基于20 mrad倾斜角和3.3 F数,最大可测倾斜度为2.8°。此外,还对TTM补偿精度的影响进行了仿真,当补偿精度低于40 μrad时,补偿误差可以忽略不计。通过一系列试验证明了该方法的准确性和有效性。
1. Introduction
自由曲面雷竞技下载找ray666点vip以其卓越的性能和紧凑性而闻名,已广泛用于现代雷竞技下载找ray666点vip系统。与球面相比,自由曲面元素具有额外的自由度来实现这些特性。然而,这些额外的自由度也会导致较大的非球面梯度,而传统的基于干涉仪的检测方法无法用于此类表面。由于巨大的梯度变化,表面产生的条纹密度超过了通常的 CCD 阵列的奈奎斯特频率(Nyquist frequency)是为防止信号混叠需要定义最小采样频率。),造成无法测量,光线甚至可能从干涉仪中逸出。因此,未解析的条纹是由参考光束和测量光束之间的大角度引起的。因此,丢失了包含在条纹中的准确形状信息。
目前已发展了几种大非球面梯度自由曲面单元的干涉测量方法。其中有些是基于梯度分割的,有些是基于梯度补偿的。基于梯度划分的方法,如基于子孔径拼接干涉仪的方法,将陡峭的轮廓分成多个局部区域来降低梯度。这减小了参考波前和测量波前之间的角度,因此降低了对参考波前的要求。拼接干涉仪的一个缺点是扫描过程引入了机械不稳定性。在基于梯度补偿的方法中,通常使用相位补偿器和角度补偿器。位相补偿器产生与被测表面相对应的波前,例如零透镜和计算机生成的全息图。由于它的“一对一”模式,每种表面都必须匹配相应的零雷竞技下载找ray666点vip元件,这既耗时又费钱。因此,基于数字微镜器件(DMD)的动态相位补偿方法已经开发出来,其中微镜间距被限制在3.5-16μm。
角度补偿法的原理是利用角度补偿器对入射到被测表面的光线进行重新调整。补偿照明方向的目的是控制光线在陡峭轮廓上的入射角,从而改变反射方向。因此,在两束相干光之间以较小的角度形成较低密度的干涉条纹。倾斜波干涉仪(TWI)是一种典型的角度补偿装置,由于其非零位配置,因此需要灵活地进行自由曲面元件检测。然而,在TWI中,微透镜阵列被用来为不同的测试分区产生一组具有不同倾斜度的波前。固定的微透镜阵列只提供固定的补偿角,因此限制了其可测量性。此外,阵列中的每个微透镜同时利用光源的能量;因此,需要更高功率的激光器,而计量激光器不适合。
本文提出了一种利用TTM对入射角进行动态补偿来检测自由曲面的方法。TTM起到角度补偿器的作用,即分时补偿。根据TTM的倾斜角度,确定入射角。对被测表面进行补偿,实现局部梯度补偿。此外,倾斜角度的值与测试表面的局部梯度相适应。因此,我们的方法显示出极大的灵活性,可用于具有大非球面的自由曲面,而无需额外的能量负担。也就是说,我们采用分时的方法来实现能源的集中利用。我们首先建立我们方法的数学模型。然后分析了TTM补偿范围和精度的影响。最后,我们的装置的一系列测试结果证明了该方法的精度和有效性。
2. The measurementprinciple
2.1. Principle ofgradient compensation(梯度补偿原理)
通常,我们使用α来估计非球面梯度,即自由曲面法线与其最佳拟合球面法线之间的夹角,如图1所示。自由曲面点A1上的反射光线返回到干涉仪,两个相干光束之间的夹角为γ。γ角越大,条纹密度越大。特别是,自由曲面上的反射光线,例如点A2,由于其较大的非球面梯度而从干涉仪中逸出,如图1(a)所示。因此,常规干涉仪不适用于大非球面度自由曲面的检测。
图1.梯度补偿示意图。(A)无梯度补偿的自由曲面测试。(B)带梯度补偿的自由曲面测试。S为标准球面透镜组;O为最佳球面中心和S的焦点;R为最佳球面半径;f为标准球面透镜组S的焦距。
根据反射定律,可以通过补偿入射光线的方向来调整反射光线的方向。因此,反射光线返回干涉仪,并在两个相干光束之间形成一个较小的角度,如图1(B)所示。此外,还可以对条纹密度进行解析。因此,采用分时TTM对入射光线方向进行动态补偿,控制入射光线在局部表面轮廓较陡区域的入射角度。
2.2. Setup for incidentangle compensation
图2所示的实验装置参照非零位的Twyman-Green干涉仪。准直光由分束器BS1分成参考束和测量束。参考光束被参考镜反射,然后穿过BS1、BS2,进入成像系统。同时,测试光束通过可精确调节倾角的TTM进行反射。然后,测试光束由标准球面透镜组(S)会聚并入射到测试表面上。当TTM相对于其初始方向倾斜β角时,光线在测试表面上的入射角将带有相应的补偿角。这意味着被测表面上的入射角被TTM补偿。
因此,通过控制入射角来补偿局部陡峭轮廓上的大的非球面梯度。被测试表面反射并携带这些局部轮廓的形状信息的测试光线返回干涉仪并与参考光线干涉。由于补偿了大的非球面梯度,使得参考光束和测试光束之间的夹角最小,以满足奈奎斯特采样准则。因此,有效的条纹图被成像在CCD上。此外,我们还驱动安装在压电陶瓷(PZT)上的参考镜来实现7帧相移。当控制所有子区的入射角度时,我们可以利用CCD获得一系列改进的条纹图,从而确定整个轮廓。
图2.(A)基于TTM的入射角补偿原理图。BE:扩束器;BS1、BS2:分束器;S:标准球面透镜组。(B)来自三个测试的干涉图、相应的测试分区以及TTM与光轴之间的角度。TTM与光轴的初始夹角为45◦。β1,β2是TTM的两个倾角。
2.3. Mathematical modelof the incident angle compensation(入射角补偿的数学模型)
TTM的倾斜方向与其补偿的局部照明光线之间的几何关系如图3(A)所示。
图3.TTM倾斜方向与其补偿的局部照明光线之间的几何关系示意图。O,最佳拟合球面的中心;R,最佳拟合球面的半径;A,自由曲面上的任意点;B,A在光轴上的投影点;C,入射光线与光轴的交点;S,标准球面透镜组;f,标准球面透镜组S的焦距;OO‘,标准球面透镜组S的焦平面;θA,AO与光轴的夹角;θA’,入射光线与光轴的夹角。
TTM的初始角度是相对于光轴45◦,然后倾斜β角。条纹图(上方干涉图,倾斜角度β)和测试光线(上方路径,倾斜角度β)如图所示。为便于分析,我们将自由曲面上的任意点命名为点A,其坐标为(xA,f(xA)),并接收入射光线O’A。我们将点A的补偿角定义为ωA,即反射光线与其最佳拟合球面法线AO之间的夹角。然后,根据ωA和αA的定义,将A点上的反射角定为αA-ωA。根据反射定律,A点上的入射角也等于αA-ωA。因此,对于入射光线和AO之间的角度,我们有以下关系。
标准球面透镜组S的主光线与光轴以2β角相交。S的焦点在O‘点。我们可以确定|OO‘|的高度为
其中f是标准球面透镜组S的焦距。上述角度满足三角形关系。我们有等式(3)、(4)及(5)如下:
其中θA是AO和光轴之间的角度,θA‘是入射光线和光轴之间的角度。
联立等式(1)-(5),补偿角ωA和A点上的入射角补偿与TTM的倾斜角β相关
等式(6)是本方法数学模型的主要结果。因此,我们根据被测表面上的非球面梯度αA来倾斜TTM以使补偿角ωA最小化。TTM作为角度补偿器,其补偿范围和补偿精度是决定系统可测量性的重要参数。在此基础上,分析了TTM补偿范围和精度的影响。
等式(6)是本方法数学模型的主要结果。因此,我们根据被测表面上的非球面梯度αA来倾斜TTM以使补偿角ωA最小化。TTM作为角度补偿器,其补偿范围和补偿精度是决定系统可测量性的重要参数。在此基础上,分析了TTM补偿范围和精度的影响。
3. Analysis
3.1. Compensating rangeanalysis(补偿范围分析)
根据奈奎斯特采样定律,CCD阵允许干涉光束之间的最大夹角为ωA _max,在此范围内相机可以有效地采集干涉图。根据等式(6),在本方法中可以补偿的最大角度ωA _max为
其中β_max是TTM的最大倾角。
此外,入射和反射角由标准球面透镜组S的F数限制。通过应用在图3(A)中的等式(4)和(5),我们得到(8)-(11)如下:
其中F是准球面透镜组S的F数。
基于等式(6)和(8)-(11),补偿范围由标准球面透镜组S的倾角β和F数决定,并且R值和被测表面直径必须与S匹配。因此,我们分析了倾角β和F数的影响,其中被测表面上的离轴距离(X)恒定为20 mm。我们在表1中列出了F数(Zygo公司)和倾角(PI公司)的常用值,并计算了相应的补偿范围。
另一方面,补偿范围也受到离轴距离x的影响。为了估计固定系统的补偿范围(F数),我们分析了自由曲面不同位置处的最大角度αA_max。为了简化分析,我们将两个相干光束之间的夹角ωA_max设为零,这意味着从被测表面反射的所有光线在通过最佳拟合球心(O)后都将返回干涉仪。在这些体系中,标准球面透镜组(S)的F数分别为1.5和3.3。自由曲面上的离轴距离(X)范围为10mm到50 mm。分析了倾角分别为2mrad、5mrad、10mrad和20mrad时的补偿范围。根据公式(7),我们可以计算出不同离轴距离下的最大角度αA_max。得到了α角与离轴距离x之间的关系,如图4所示。结果表明,被测表面离轴距离越远,可以补偿的角度越小。
图4.不同离轴距离对TTM补偿范围的影响。(A)标准球面透镜组(S)的F数为1.5;(B)标准球面透镜组(S)的F数为3.3.
3.2. Compensatingprecision analysis(补偿精度分析)
采集被测表面局部光照光线的有效干涉图后,即可对各子区域进行形状重建。本文使用的重建算法、数学模型和算法流程与TWI中的重建算法基本相似。主要区别在于角度补偿的方式不同。我们的设置的一个亮点是角度补偿是动态的,它可以灵活地适应自由曲面雷竞技下载找ray666点vip系统,并通过能量聚集来保证测试光束的质量。到目前为止,在TWI中有两种重建算法。第一种是Zernike多项式扰动算法,它是用解析式建立的雷竞技下载找ray666点vip模型,在几个子区域用Zernike多项式来拟合全孔径试件。然后通过比较被测表面和理想表面的Zernike系数的扰动得到偏差。通常,这种方法适用于数学表达式清晰的雷竞技下载找ray666点vip曲面。另一种是将计算全息法与回程误差消除算法(CGW-REE算法)相结合,主要针对没有精确数学表达式的雷竞技下载找ray666点vip元件。文[20]详细讨论了CGWREE算法、数学模型和算法流程。以上两种重建方法均已成功应用,具体内容见上述参考文献。
虽然这两种算法不同,但它们有一个共同的核心思想:建立一个虚拟干涉测量系统,如图2所示,并模拟虚拟干涉波前。在这个虚拟系统中,每个雷竞技下载找ray666点vip元件都是理想的,包括被测表面。将TTM的倾斜方向作为输入参数提供给虚拟系统。在实际的干涉测量系统中,对实际干涉波前进行了测量。通过对虚拟波前和实际波前的重复来重建形状。然而,在实际实验中,TTM的角度补偿误差会叠加在实际干涉图中,影响最终重建的精度,如图5所示。
图5.角度补偿误差对最终重建结果影响的示意图
因此,有必要分析TTM的补偿精度对测量结果的影响。如图5所示,理想的倾斜角是β,它是虚拟系统的输入参数。此外,倾斜角β+Δβ模拟了实际实验中的倾斜角。O,O‘,O_error和O_error’点位于S的焦平面上,因此用公式(12)计算了TTM补偿角误差对光程长度的影响。
其中γ是O_error和光轴之间的夹角,L是返回到ccd的平行光的等效长度。用方程(13)和(14)计算了理想系统中入射光线和反射光线的射线长度。
其中f是S的焦距,β是TTM的倾角。此外,实际系统中的入射光线和反射光线的长度也是通过等式(15)-(17)来计算的。
建立了基于方程(12)-(17)组合的虚拟系统,分析了补偿角度误差对最终重建算法的影响。为了模拟实验过程中TTM的补偿角度误差,以最大倾角βmax为基础,模拟了N个角度的误差。换句话说,理想的倾斜角度是βmax,而实际的倾斜角度是βmax+Δβ。利用该虚拟系统模拟了N个存在倾斜误差的重建形状,并从重建的形状中减去最理想的形状得到误差形状。然后对误差形状的峰谷值进行了比较,结果如图6所示。此外,我们还列出了四种类型的TTM及其精度。仿真结果表明,当TTM的精度低于40μrad时,其角度补偿误差可以忽略不计,因为其形状误差小于λ/50(λ=632.8nm)。各种商业上可用的TTM满足了这一条件。
图6.TTM补偿精度的影响
4. Experiments
我们进行了两个实验来测试我们的设置的精度和性能。为了验证我们的装置的精度,我们测试了一个非球面透镜,并将结果与使用Hindle-Sphere方法的Zygo干涉仪的结果进行了比较。在对比实验中,我们使用相同的顶点位置作为测试球面波的中心。在本实验中,试件为非球面,孔径40 mm,曲率半径−130 mm,二次曲线常数为−0.8。最大倾斜角为0.25◦。光源为1.2 mW的计量激光器。角度补偿器是PI公司生产的具有5-μrad精度和25-mrad倾斜角的TTM(二维活动轴)。标准球面镜片组的F数为3.33(Zygo公司)。实验用的CCD(MVC1450DMF)由Microview公司提供,像素尺寸为4.65um,成像面积为6.0 mm∗4.8 mm。因此,在一般情况下,该ccd可以提供小于26.882 lp/mm的分辨率。根据在虚拟干涉系统中的仿真结果,将试件划分为九个子区进行测试。本文所用的分区方法的原理和算法见参考文献21。TTM和干涉图的相应倾角如图7所示。
图7.非球面的测量序列。(A)摆镜在x和y方向上的补偿角。这个非球面有九个测量值。(B)两个补偿角的两个干涉图。这里,βx表示TTM在x维度上的倾斜,βy表示y维度上的倾斜。
最密集的条纹频率为~76.017 lp/mm(βx=0,βy=0),无解。角度补偿后,同点频率降至~22.907 lp/mm,小于26.882 lp/mm。Zygo干涉仪和我们的方法的结果如图8所示。非球面与其最佳球面之间的偏差如图8(A)所示。图8(C)中的结果是由Zernike多项式扰动算法得到的。残差如图8(D)所示。通过对图8(D)中残差的分析,得到PV值为0.108 λ,均方根为0.013 λ。
图8(A)非球面与其最佳拟合球面之间的偏差。(B)Zygo干涉仪测量非球面的形状误差(PV=0.352λ,均方根=0.062λ)。(C)由我们的装置测试的非球面的形状误差(PV=0.360λ,均方根=0.062λ)。(D)非球面与Zygo干涉仪之间的剩余误差(PV=0.108λ,均方根=0.013λ)。
-
为了验证该方法的有效性,还进行了另一次实验。试件为自由曲面,孔径为42 mm,最佳拟合球体半径为142 mm。与最佳拟合球面的偏差为0.78 mm。图9显示了样品的设计形状和非球面梯度。根据在虚拟干涉系统中的模拟结果,我们将样品划分为16个子区进行测试,相应的TTM倾斜角如图10所示。在我们的装置中,与设计轮廓的偏差如图11所示。图11(A)中的结果是通过CGW-REE算法得到的。PV和RMS值分别为2.614λ和0.208λ。用泰勒PGI840型轮廓仪对0°和90°两个方向的测量结果进行了比较。如图11(B)所示,我们的设置与Taylor PGI840之间在0°和90°方向上的残余误差分别为0.172λ和0.219λ(PV)。将所提出的方法与Taylor PGI840轮廓仪测量的轮廓线进行了比较,证明两种方法测量的轮廓线走势是一致的。图11(B)中的残差-仅供参考,不作准确性验证。自由曲面实验表明,本文提出的角度补偿方法适用于自由曲面检测。
图9。(A)自由曲面的设计轮廓;(B)自由曲面法线与其最佳拟合球面法线之间的夹角;(C)自由曲面与其最佳拟合球面间的表面偏差。
图10.自由曲面的测量顺序。(A)TTM在x和y方向上的补偿角。此自由曲面有16个测量值。(B)a、b和c补偿角的三个干涉图。这里,βx表示TTM在x维度上的倾斜,βy表示y维度上的倾斜。
图11.(A)在我们的设置中(PV=2.614λ,均方根=0.208λ),(λ=632.8 nm)与设计自由曲面的偏差;(B)我们的设置与TaylorPGI840之间在0°和90°方向上的残差。
5. Conclusion
提出了一种测试自由曲面的新方法。该方法基于入射角补偿,特别适用于非球面梯度较大的自由曲面。通过补偿光线在局部陡峭轮廓上的入射角度,反射光线返回干涉仪时可以携带形状信息,形成有效的干涉图。入射光线由TTM动态补偿,它灵活地适应自由曲面雷竞技下载找ray666点vip的许多自由度。此外,角度补偿还具有分时和能量聚集的特性,保证了激光光束的质量。分析了TTM的补偿范围和补偿精度对形状重建的影响,对TTM的选择具有参考价值。分析表明,商业化的TTM很容易满足对补偿精度的要求。基于20mrad倾角和3.3F数的标准球面透镜组,我们的方法最大可测倾斜度为2.8mrad◦。通过对非球面和自由曲面的检测,验证了该方法的精度和可测性。
欢迎指正,翻译的pdf版见附件