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传统PCB曝光机中反光碗的设计理念

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  • TA的每日心情
    开心
    2024-9-26 00:48
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    [LV.3]偶尔看看II

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    小白

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    发表于 2020-8-26 16:39 | 显示全部楼层 |阅读模式
    目前国内很多PCB以及液晶曝光设备都是国外的(日本最多)汞灯光路设备:汞灯+反光碗+反射镜+复眼+曲面镜组成复眼的接收角固定的情况
    问题1:反光碗设计方向:
    1、最大化复眼入射角?理论上这样应该最终台面的功率密度最高
    2、还是在固定后端一个需求功率密度的情况下,做一个能满足功率的最小复眼入射角?这样应该均匀性最优
    问题2:功率密度的分布总是偏向一边的,从光源部分如何解决





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  • TA的每日心情
    开心
    2024-9-26 00:48
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    [LV.3]偶尔看看II

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    小白

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     楼主| 发表于 2020-8-26 16:44 | 显示全部楼层
    附上功率密度分布图片。

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  • TA的每日心情
    开心
    2022-8-31 09:07
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    [LV.7]常住居民III

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    发表于 2020-8-27 16:42 | 显示全部楼层
    我不是很懂这个事情的具体需求。但是有两个问题想问一下:1、光源是什么,LED还是激光?2、目的是实现均匀光照度分布吗? 如果是这样的话,感觉可以采用自由曲面反射镜直接做
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  • TA的每日心情
    开心
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    [LV.3]偶尔看看II

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     楼主| 发表于 2020-8-27 20:44 | 显示全部楼层
    北方的狼ZZB 发表于 2020-8-27 16:42
    我不是很懂这个事情的具体需求。但是有两个问题想问一下:1、光源是什么,LED还是激光?2、目的是实现均匀 ...

    目前进口的设备(包含已使用10年以上的)光源都是超高压汞灯,现在是有设备厂商想采用LED替代汞灯。
    是实现高均匀性,但是根据测试曲面反射镜,汞灯的光路就是采用的球面镜,不是自由曲面,因为这个面型很大,基本上800*700尺寸以上,自由曲面成本很高吧。
    现在关键点是,后端光路不变的情况下,LED光源均匀性没有汞灯优秀,从光源端有办法解决这个均匀性匹配问题吗?不采用自由曲面准直。


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  • TA的每日心情
    无聊
    2020-9-24 08:49
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    [LV.2]偶尔看看I

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    发表于 2020-8-28 15:07 | 显示全部楼层
    反光碗一般作用是用于聚光,设计目标为在满足系统要求的情况下尽可能的汇聚最大能量,后续加入复眼透镜阵列用于匀光,后边的曲面用于准直或其他用途。
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  • TA的每日心情
    奋斗
    2024-11-6 10:15
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    [LV.Master]伴坛终老

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    发表于 2020-8-30 22:51 | 显示全部楼层
    楼主的问题,反反复复看了几遍,感觉不是很清晰,首先没有完整的光路图,感觉是LED光源,先经过这个反射碗进行准直吧,准直后,光束的光功率分布不均匀?
    该会员没有填写今日想说内容.
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