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有关光刻照明的基础知识请教

TA的每日心情

奋斗
2021-7-3 08:57

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[LV.5]常住居民I

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发表于 2020-3-7 13:06 | 显示全部楼层 |阅读模式

本人照明小白，神坛的大佬们可否推荐相关书籍或资料，谢谢

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TA的每日心情

开心
2024-7-24 14:03

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[LV.9]以坛为家II

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发表于 2020-3-7 13:21 | 显示全部楼层

在校研究生吗

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TA的每日心情

奋斗
2024-3-17 16:37

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[LV.9]以坛为家II

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发表于 2020-3-8 11:02 | 显示全部楼层

这个要看你是什么波段的照明了？365nm，193nm还是极紫外13nm，我倒是建议你初级调研阶段直接知网硕博士论文看看，然后有一定了解了，看看国外的文献。

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TA的每日心情

奋斗
2021-7-3 08:57

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[LV.5]常住居民I

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楼主| 发表于 2020-3-8 18:14 | 显示全部楼层

350426422 发表于 2020-3-7 13:21
在校研究生吗

不是，刚踏入这一行，实属小白，希望可以有基础的案例尽可能详细点的或者视频推荐，感激不尽。

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TA的每日心情

奋斗
2021-7-3 08:57

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楼主| 发表于 2020-3-8 18:20 | 显示全部楼层

五指书生发表于 2020-3-8 11:02
这个要看你是什么波段的照明了？365nm，193nm还是极紫外13nm，我倒是建议你初级调研阶段直接知网硕博士论文 ...

谢谢，主要想做405nm波段的，复眼匀光照明，资料也在找但想找一些尽可能详细的视频或者资料，谢谢，大佬指点

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