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偏心测量仪的原理请教

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Soliton

TA的每日心情

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发表于 2024-10-8 16:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

请教各位大神，有谁知道偏心测量仪器的具体原理，里面的十字线是怎么形成的？

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Dualmoons

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发表于 2024-10-8 16:07 | 显示全部楼层

我知道原理，但是为什么是十字线我不是很清楚，应该是在光源那里有一个十字的缝隙。

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大白小帅

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[LV.9]以坛为家II

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发表于 2024-10-8 17:15 | 显示全部楼层

没有那么官方，大概的原理是以一个面为基准，作为表面像(固定十字架)，通过每个曲面的反射/透射的光形成的球心像，也就是每一个面的都有个聚焦的点，这个点就是说的球心像(可移动的清晰的十字架)，通过旋转360°，就可以知道这个面跟基准的偏心值是多少

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逢人不说

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发表于 2024-10-9 09:43 | 显示全部楼层

反射式的偏心测量仪，大概的原理就是有一个接收像的CCD，在光源的地方有一个十字的靶标，被测样品放在转台上，通过样品表面反射，可以在CCD上接收到那个十字的像，测量过程转台旋转。

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灰人xx

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发表于 2024-10-10 11:08 | 显示全部楼层

反射式偏心测量仪是自准直仪投射的十字靶标经聚焦物镜汇聚在了待测表面的球心处，由于汇聚在球心上，理想情况下，光线垂直照射在待测样品表面，此时待测表面会将入射光原路返回，从而在像面中心形成十字像。当待测表面存在偏心时，入射光与待测表面的法线存在夹角，光线依然会被反射回去，但反射像会偏离中心，理想情况下，偏离中心的大小即可看做其偏心值

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