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[求助] 二元面的相位范围是-31到1.8，加工环带数m出现-1，可以加工吗？

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一模

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发表于 2023-8-8 18:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

本帖最后由一模于 2023-8-8 19:12 编辑

求问站友，我在做二元面优化时，在一个平面上加入了二元面2的相位约束，但是观察相位时发现，它的相位范围是[-31.4,1.8]。

做环带分析时，发现cycles有±1出现，请问这样可以加工吗？

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蓝玉非梦

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发表于 2023-8-8 20:24 | 显示全部楼层

正负环没关系，关键是你环带太多，太密了，得修改一下

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楼主| 发表于 2023-8-8 20:32 | 显示全部楼层

蓝玉非梦发表于 2023-8-8 20:24
正负环没关系，关键是你环带太多，太密了，得修改一下

就是说加工分析的宏中，不需要看左边一列的环带正负，只需要看右边的半径所在位置对吗？我现在的环带最小间距只有3μm，确实太小了，请问如何控制最小环带间距呢？

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发表于 2023-8-8 21:32 | 显示全部楼层

本帖最后由蓝玉非梦于 2023-8-8 21:35 编辑

一模发表于 2023-8-8 20:32
就是说加工分析的宏中，不需要看左边一列的环带正负，只需要看右边的半径所在位置对吗？我现在的环带最小 ...

控制一下衍射面系数,XDVA,PRAM，等等

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