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[求助] [已解决]Zemax 表面相位图是什么,怎么理解

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    发表于 2023-6-6 22:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
    本帖最后由 Luis 于 2023-6-6 22:18 编辑

    个人看说明书感觉解释的不够详细
    问题背景:ZYGO干涉仪Zernike面型系数在输入到zemax后,想看一下输入后的面型情况;
    后面发现这个表面相位图和ZYGO干涉仪的这个图片很像,
    想具体了解一下Zemax的表面相位是什么?有什么用途。
    最佳答案
    2023-6-7 09:26
    Luis 发表于 2023-6-7 08:44
    是的,我仿真时用的Zernike Fringe 相位,其他表面的表面相位确实是0,想进一步问一下,这个Zygo截图里面 ...

    用zernike Fringe sag面,也就是Zernike条纹多项式矢高面。
    矢高面是用来表示面形的,相位面是表示衍射表面相位的。
    你用的时候,主要面形项,也就是理论面形参数,比如曲率半径、圆锥系数、高次项等等,按照理论数据输入,面形误差项就是后面的Zernike多项式项。
    需要注意归一化曲率半径。zygo用的归一化半径,可能默认是1。zemax里面需要你手输一个归一化半径,这个你可以先试试看,如果按照归一化半径是1来输入,产生的表面矢高过于离谱,那就要自己重新算一下系数了。
    还有就是要注意单位,zygo产生的面形数据的Zernike系数单位可能是相位rad,也可能是波长wave,你带到zemax中,要根据zemax的定义来换算一下。

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  • TA的每日心情
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    小白

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    发表于 2023-6-6 23:41 | 显示全部楼层
    表面相位,顾名思义就是查看一些相位面的相位分布,主要是针对一些类型为相位面的表面,譬如Binary1和2,泽尼克相位面,网格相位面等等表面类型,这些表面通常都是作为衍射表面。
    你如果查看一些常规表面的表面相位,你会发现是一片空白,因为这些表面没有相位变化。
    至于你从zygo干涉仪的Zernike面型系数输入到zemax里,首先得看你选择是什么表面。
    正常zemax里面Zernike多项式面分为Zernike标准多项式和Zernike条纹多项式两种类型。两种表面又分别用于表示矢高面和相位面,即Zernike标准矢高面和Zernike标准相位面。
    zygo得到的面形数据实际上应该是矢高数据,里面应用的应该是Zernike标准多项式,所以代入到zemax中,你应该选择Zernike标准矢高面来分析面形。个人愚见,你应该是用了Zernike标准相位面来表示,这样才会在表面相位那里显示了相位。

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     楼主| 发表于 2023-6-7 08:44 | 显示全部楼层
    光の牙 发表于 2023-6-6 23:41
    表面相位,顾名思义就是查看一些相位面的相位分布,主要是针对一些类型为相位面的表面,譬如Binary1和2,泽 ...

    是的,我仿真时用的Zernike Fringe 相位,其他表面的表面相位确实是0,想进一步问一下,这个Zygo截图里面得到的Zernike系数输入到zemax里面是Zernike Fringe 相位面吗?我看到论坛里其他帖子有说Zygo干涉仪对应的Zemax是这个Zernike Fringe 相位。

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    发表于 2023-6-7 09:26 | 显示全部楼层    本楼为最佳答案   
    Luis 发表于 2023-6-7 08:44
    是的,我仿真时用的Zernike Fringe 相位,其他表面的表面相位确实是0,想进一步问一下,这个Zygo截图里面 ...

    用zernike Fringe sag面,也就是Zernike条纹多项式矢高面。
    矢高面是用来表示面形的,相位面是表示衍射表面相位的。
    你用的时候,主要面形项,也就是理论面形参数,比如曲率半径、圆锥系数、高次项等等,按照理论数据输入,面形误差项就是后面的Zernike多项式项。
    需要注意归一化曲率半径。zygo用的归一化半径,可能默认是1。zemax里面需要你手输一个归一化半径,这个你可以先试试看,如果按照归一化半径是1来输入,产生的表面矢高过于离谱,那就要自己重新算一下系数了。
    还有就是要注意单位,zygo产生的面形数据的Zernike系数单位可能是相位rad,也可能是波长wave,你带到zemax中,要根据zemax的定义来换算一下。
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