检测方法:
1.ZYGO干涉仪
特点:测量更精确,有具体数据读出,可测面形或透过波前
缺点:费时,测量算成本,常用于出口国外、军工、或有要求提供面形检测结果
2.平面干涉仪
人眼读光圈数,评判面形或透过波前好坏,快速;
可测面形或透过波前。
平板雷竞技下载找ray666点vip元件一般只给出不规则度(小光圈ΔN)的公差指标,无大光圈N,主要原因是光圈与曲率半径的换算关系:
N≈(d/2R)^2*ΔR
R为曲率半径,ΔR为曲率半径公差值,d为有效区域,λ为检测波长546.1nm;
平板元件的R等于∞,那么N=0,不提该指标。
平板雷竞技下载找ray666点vip元件一般给PV值,如单个面的PV或透过波前PV;
大部分平板元件前后面面形都有补偿,如前后表面面形都为λ,但透过波前可为λ/4;
如果有提RMS,则一般是只用面的粗糙度,一般面精度要求高的才会提;
PV有两种理解方式:
1.PV和RMS都可理解为粗糙度,与N、ΔN是三个无关的量;
2.PV即小光圈ΔN
对于球面元件,只需要给出大光圈N和小光圈ΔN即可,常用的测量工具为ZYGO干涉仪。