对测量的SAG数据进行非球面项拟合（CSAG）

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发表于 2020-4-3 10:55 | 显示全部楼层 |阅读模式

SYNOPSYS可以将一组测量的表面sag值拟合到非球面上。这可以用来模拟被测表面，以便分析所建立的透镜的性能。假定面型是旋转对称的，程序将面型USS 21分配给表面。（也可以使用SFIT为非对称形状建模。）
输入是：

透镜必须是当前的，并且要建模的表面指定为sn。要拟合的区域数必须介于3到50之间。
输入是包括孔径（y）和每个点的测量凹陷（sag）的列表。必须对测量值进行归一化，使轴点具有零凹陷，但键入的输入数据以第一个非零Y坐标开始。
当读取所有数据时，程序提交一个优化运行，该过程将每个指定区域的sag目标定为测量值，随着要建模的点的变化，许多G项变量也发生变化，最多30个区域可用于此形状。

例子：
测量了表面3的非球面形状，并给出了其测量结果。然后按照如下输入：

程序找到了下列系数，评价函数下降到1.616E-12.这是一个非常好的拟合。

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